标准号:GB/T 32495-2016
中文标准名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
英文标准名称:Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon
标准状态:现行
发布日期:2016-02-24
实施日期:2017-01-01
中国标准分类号:G04
国际标准分类号:71.040.40
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会