ASTM F1727-1997 抛光硅片氧化诱发缺陷检测标准实施规程

百检网 2021-07-16

标准号：ASTM F1727-1997
中文标准名称：抛光硅片氧化诱发缺陷检测标准实施规程
英文标准名称：Standard Practice for Detection of Oxidation Induced Defects in Polished Silicon Wafers
标准类型：H82
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045 (Semiconducting materials)

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