ASTM F928-1993(1999) 圆形半导体晶片及硬性磁盘基片的边缘轮廓的标准试验方法

百检网 2021-07-16

标准号：ASTM F928-1993(1999)
中文标准名称：圆形半导体晶片及硬性磁盘基片的边缘轮廓的标准试验方法
英文标准名称：Standard Test Methods for Edge Contour of Circular Semiconductor Wafers and Rigid Disk Substrates
标准类型：L64
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：L64
国际标准分类号：29.045 (Semiconducting materials)

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