ASTM F1239-1994 通过测量晶隙氧还原表征硅片氧沉淀的标准试验方法

百检网 2021-07-16

标准号：ASTM F1239-1994
中文标准名称：通过测量晶隙氧还原表征硅片氧沉淀的标准试验方法
英文标准名称：Standard Test Methods for Oxygen Precipitation Characterization of Silicon Wafers by Measurement of Interstitial Oxygen Reduction
标准类型：H82
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045 (Semiconducting materials)

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