GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范 现行

标准号：GB/T 37053-2018
中文标准名称：氮化镓外延片及衬底片通用规范
英文标准名称：General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2018/12/28 12:00:00
实施日期：2019/7/1 12:00:00
中国标准分类号：合肥彩虹蓝光科技有限公司
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司
起草人：刘南柳
相近标准：20110049-T-469  氮化镓外延片及衬底片通用规范;20193166-T-469  氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方