20204975-T-469 半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法 正在起草

标准号：20204975-T-469
中文标准名称：半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
标准状态：正在起草
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：31.080.99
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：苏州市质量和标准化院等
相近标准：  半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法;20110876-T-469  半导体器件 微机电器件
标准制修订：制订