20202827-T-469 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法 正在起草

标准号：20202827-T-469
中文标准名称：氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法
英文标准名称：Determination of fluorine ion and chloride ion content in silicon nitride powder by ion chromatography method
标准状态：正在起草
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：新特能源股份有限公司
相近标准：  氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法;JC/T 2134-2012  氮化硅陶瓷粉体;GB/T 37258-2
标准制修订：制订