标准号:GB/T 5252-2020
中文标准名称:锗单晶位错密度的测试方法
英文标准名称:Test method for dislocation density of monocrystal germanium
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2020/6/2 12:00:00
实施日期:2021/4/1 12:00:00
中国标准分类号:北京国晶辉红外光学科技有限公司
国际标准分类号:77.040
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:有研光电新材料有限责任公司
起草人:张路
相近标准:;GB/T 5252-2006
; 锗单晶位错密度的测试方法;20173474-T-6