GB/T 31469-2015 半导体材料切削液

标准号：GB/T 31469-2015
中文标准名称：半导体材料切削液
英文标准名称：Semiconductor materials cutting fluid
标准类型：L90
发布日期：2015/5/15 12:00:00
实施日期：2016/1/1 12:00:00
中国标准分类号：L90
国际标准分类号：31-030
引用标准：GB/T 601;GB/T 603;GB/T 3143;GB/T 4472-2011;GB/T 6368;GB/T 6678;GB/T 6680;GB/T 6682-2008;GB/T 8170;GB/T 10247;GB/T 11275;GB/T 11446.1;GB/T 12582;GB/T 15346-2012
适用范围：本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。