标准号：GB/T 8758-2006
中文标准名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
英文标准名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
标准类型：H17
发布日期：2006/7/18 12:00:00
实施日期：2006/11/1 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
适用范围： 本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω•cm，外延层的电阴率大于0.1Ω•cm。
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
百检网 2021-07-19
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