DIN EN ISO 14644-14-2017 洁净室和相关控制环境.第14部分:利用气载颗粒浓度评定设备的适合性(ISO 14644-14-2016);德文版本EN ISO 14644-14-20

百检网 2021-07-19

标准号：DIN EN ISO 14644-14-2017
中文标准名称：洁净室和相关控制环境.第14部分:利用气载颗粒浓度评定设备的适合性(ISO 14644-14-2016);德文版本EN ISO 14644-14-2016
英文标准名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016
标准类型：Z05;C47
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：Z05;C47
国际标准分类号：13.040.35
引用标准：DIN EN ISO 14644-1-2016;ISO 8573-8-2004;ISO 14644-1-2015;ISO 14644-3-2005;ISO 14644-7-2004;ISO 14644-9-2012;JIS B 9926 (1991-03-01);VDI 2083 Blatt 9.1 (2006-12);AIR 1167;SEMI E49-1104;SEMI F28-1103;SEMI F70-0611;SEMI G67-0996

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