标准号:DIN EN 62047-14-2012
中文标准名称:半导体装置.微电机装置.第14部分:金属薄膜材料的成型*限测量方法(IEC 62047-14-2012).德文版本EN 62047-14-2012
英文标准名称:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012); German version EN 62047-14:2012
标准类型:L40
发布日期:2012/10/1 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:L40
国际标准分类号:31.080.01;31.220.01
引用标准:IEC 62047-1-2005