BS ISO 14706-2014 表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定

百检网 2021-07-19

标准号：BS ISO 14706-2014
中文标准名称：表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定
英文标准名称：Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准类型：H17
发布日期：2014/7/31 12:00:00
实施日期：2014/7/31 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：71.040.40
引用标准：ISO 14644-1;ISO 5725-2-1994

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