20171123-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 已发布

标准号：20171123-T-469
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：中机生产力促进中心
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学
起草人：张亚婷
相近标准：GB/T 38447-2020  微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法;GB/T 26111-2010  微
标准制修订：制订