20174085-T-469 集成电路制造设备术语 正在批准

标准号：20174085-T-469
中文标准名称：集成电路制造设备术语
英文标准名称：Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
标准状态：正在批准
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：浙江晶盛机电股份有限公司
国际标准分类号：31.220
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究院
起草人：冯亚彬
相近标准：  集成电路制造设备术语;GB/T 9178-1988  集成电路术语;GB/T 12842-1991  膜集成电路和混合膜集成
标准制修订：制订