标准号：GB/T 34504-2017
中文标准名称：蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
英文标准名称：Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2017/10/14 12:00:00
实施日期：2018/5/1 12:00:00
中国标准分类号：邵峰
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：天通控股股份有限公司
起草人：康森
相近标准：20132165-T-469 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法; 蓝宝石图形化衬底片;GB/T 30858-2014
GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法 现行
百检网 2021-07-19
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