20153725-T-469 化学放大光致抗蚀剂的工艺参数描述规范 正在征求意见

标准号：20153725-T-469
中文标准名称：化学放大光致抗蚀剂的工艺参数描述规范
英文标准名称：Specifications for parameter description for Chemical Amplified (CA) photoresist parameter
标准状态：正在征求意见
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：31.030
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院微电子研究所
相近标准：  化学放大光致抗蚀剂的工艺参数描述规范;20141891-T-469  光致抗蚀剂灵敏度测量参数规范;  增材制造 工艺参数库
标准制修订：制订