标准号:GB/T 36653-2018
中文标准名称:电子级三甲基铝
英文标准名称:Electronic grade trimethylaluminium
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2018/9/17 12:00:00
实施日期:2019/1/1 12:00:00
中国标准分类号:中国电子技术标准化研究院
国际标准分类号:71.100.20
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司
起草人:孙明璐
相近标准:20130014-T-469 电子级三甲基铝;20130015-T-469 电子级三甲基铟;20120272-T-469