标准号:GB/T 32650-2016
中文标准名称:电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
英文标准名称:Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS)
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2016/4/25 12:00:00
实施日期:2016/11/1 12:00:00
中国标准分类号:中国电子技术标准化研究院
国际标准分类号:31.030
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心
起草人:许振午
相近标准:20110051-T-469 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素;20068377-T-334 电感耦合等离子体质谱法