GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法 现行

标准号：GB/T 33922-2017
中文标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
英文标准名称：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2017/7/12 12:00:00
实施日期：2018/2/1 12:00:00
中国标准分类号：中机生产力促进中心
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学
起草人：朱悦
相近标准：20120464-T-469  MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法;  MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法;20