GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 现行

标准号：GB/T 32817-2016
中文标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
英文标准名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2016/8/29 12:00:00
实施日期：2017/3/1 12:00:00
中国标准分类号：中国电子科技集团公司第十三研究所
国际标准分类号：31.080.99
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中机生产力促进中心
起草人：施芹
相近标准：20110876-T-469  半导体器件 微机电器件 MEMS总规范;20204971-T-469  半导体器件 微机电器