IEC 62047-1-2005 半导体器件微电机器件第1部分：术语和定义 W

百检网 2021-07-20

标准号：IEC 62047-1-2005
中文标准名称：半导体器件微电机器件第1部分：术语和定义
英文标准名称：Semiconductor devices Micro-electromechanical devices Part 1: Terms and definitions Dispositifs ?semiconducteurs Dispositifs microélectromécaniques Partie 1: Termes et définitions First Edition
标准状态：W
标准类型：国际标准
国际标准分类号：01.040.31%31.080.01%31.220.01
被以下标准代替：被IEC 62047-1-2016代替

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