标准号:BS ISO 17331-2004+A1-2010
中文标准名称:表面化学分析.从硅片工作标准物质表面采集元素的化学方法及其全反射X射线荧光光谱(TXRF)法的测定
英文标准名称:Surface chemical analysis. Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准类型:G04
发布日期:2005/3/31 12:00:00
实施日期:2005/3/31 12:00:00
中国标准分类号:G04
国际标准分类号:71.040.50