标准号：KS B ISO 5302-2004
中文标准名称：真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
英文标准名称：Vacuum technology－Turbomolecular pumps－Measurement of performance characteristics
标准类型：J78
发布日期：2004/12/30 12:00:00
实施日期：2004/12/30 12:00:00
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
适用范围：이 규격은 터보 분자 펌프의 성능 특성의 측정 방법에 대하여 규정한다. 모든 유형 및
KS B ISO 5302-2004 真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
百检网 2021-07-20
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