标准号：GB/T 31058-2014
中文标准名称：电子工业用气体 四氟化硅
英文标准名称：Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2014/12/22 12:00:00
实施日期：2015/7/1 12:00:00
中国标准分类号：佛山市华特气体有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司
起草人：邓建平
相近标准：20110736-T-469 电子工业用气体 四氟化硅;20091224-T-469 电子工业用气体 四氟化碳; 电子工
GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅 现行
百检网 2021-07-21
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