GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 现行

标准号：GB/T 31227-2014
中文标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文标准名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2014/9/30 12:00:00
实施日期：2015/4/15 12:00:00
中国标准分类号：纳米技术及应用国家工程研究中心
国际标准分类号：17.040.20
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
起草单位：上海交通大学
起草人：李慧琴
相近标准：20078478-T-491  原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法;GB/T 32189-2015  氮化镓单晶衬底表面粗