20142055-T-469 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 已发布

百检网 2021-07-21
标准号:20142055-T-469
中文标准名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
英文标准名称:Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
标准状态:已发布
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:中机生产力促进中心
国际标准分类号:31.200
归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:北京遥测技术研究所
起草人:李庆丰
相近标准:GB/T 34898-2017  微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法;GB/T 26111-20
标准制修订:制订

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