20142055-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 已发布

标准号：20142055-T-469
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
英文标准名称：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：中机生产力促进中心
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京遥测技术研究所
起草人：李庆丰
相近标准：GB/T 34898-2017  微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法;GB/T 26111-20
标准制修订：制订