标准号：DINEN62047-11-2014
中文标准名称：半导体器件微电机器件第11部分：微电机系统用独立式材料线性热膨胀系数的试验方法
英文标准名称：Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part11:Testmethodforcoefficientsoflinearthermalexpansionoffree-standingmaterialsformicro-electromechanicalsystems(IEC62047-11:2013);GermanversionEN62047-11:2013
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：31.080.01
31.220.01
DINEN62047-11-2014 半导体器件微电机器件第11部分：微电机系统用独立式材料线性热膨胀系数的试验方法
百检网 2021-07-21
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