DINEN62047-4-2011 半导体器件微电机器件第4部分：微电机系统的通用规范

百检网 2021-07-21

标准号：DINEN62047-4-2011
中文标准名称：半导体器件微电机器件第4部分：微电机系统的通用规范
英文标准名称：Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part4:GenericspecificationforMEMS(IEC62047-4:2008);GermanversionEN62047-4:2010
中国标准分类号：L40 L04
国际标准分类号：31.080.01 31.220.01

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