标准号：DIN50450-3-1991
中文标准名称：半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第3部分:用火焰电离检验测器测定氢(下标2)、氧(下标2)、氮(下标2)、氩、氦中的甲烷杂质
英文标准名称：Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopinggases;determinationofmethaneimpurityinH,O,N,ArandHebyusingaflameionizationdetector(FID)
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
DIN50450-3-1991 半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第3部分:用火焰电离检验测器测定氢(下标2)、氧(下标2)、氮(下标2)、氩、氦中的甲烷杂质
百检网 2021-07-21
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