标准号：DIN50450-7-1995
中文标准名称：半导体技术用材料的试验.用载气和掺杂气测定杂质.第7部分:用气相色谱和还原气体检测器在氮气中测定CD和H2
英文标准名称：Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofimpuritiesincarriergasesanddopantgases-Part7:DeterminationofCOandHinnitrogenbygaschromatographyandreductiongasdetector
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：71.100.20
DIN50450-7-1995 半导体技术用材料的试验.用载气和掺杂气测定杂质.第7部分:用气相色谱和还原气体检测器在氮气中测定CD和H2
百检网 2021-07-21
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