标准号:DIN50450-8-2000
中文标准名称:半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第8部分:用激光粒子仪测定液氮中粒子数浓度
英文标准名称:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofimpuritiesincarriergasesanddopantgases-Part8:Determinationoftheconcentrationoftheparticlenumberinflowingnitrogenusinglaserparticlecounter
中国标准分类号:G86
国际标准分类号:71.100.20