DIN50455-2-1999 半导体技术用材料的试验.表征光敏抗蚀剂的方法.第2部分:阳极光敏抗蚀剂的光敏度的测定

百检网 2021-07-21

标准号：DIN50455-2-1999
中文标准名称：半导体技术用材料的试验.表征光敏抗蚀剂的方法.第2部分:阳*光敏抗蚀剂的光敏度的测定
英文标准名称：Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Methodsforthecharacterisationphotoresists-Part2:Determinationofphotosensitivityofpositivephotoresists
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045

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