标准号：GB/T19921-2005
中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文标准名称：Testmethodofparticlesonsiliconwafersurfaces
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
被以下标准代替：SEMIM25-1995,非等效采用;
SEMIM35-0299,非等效采用;
SEMIM50-1101,非等效采用;
ASTMF1620-1996,非等效采用;
ASTMF1621-1996,非等效采用
GB/T19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
百检网 2021-07-22
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