标准号：IEC62047-1-2005(已作废)
中文标准名称：半导体器件微电机器件第1部分：术语和定义
英文标准名称：SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevicesPart1:TermsanddefinitionsDispositifs?semiconducteursDispositifsmicroélectromécaniquesPartie1:TermesetdéfinitionsFirstEdition
中国标准分类号：L04
L40
国际标准分类号：01.040.31
31.080.01
31.220.01
IEC62047-1-2005(已作废) 半导体器件微电机器件第1部分：术语和定义
百检网 2021-07-23
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