标准号：IEC62047-11-2013
中文标准名称：半导体器件微电机器件第11部分：微电机系统用独立式材料线性热膨胀系数的试验方法
英文标准名称：Semiconductordevices?Micro-electromechanicaldevices?Part11:Testmethodforcoefficientsoflinearthermalexpansionoffree-standingmaterialsformicro-electromechanicalsystemsDispositifs?semiconducteurs?Dispositifsmicroélectromécaniques?Pa
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：31.080.99
IEC62047-11-2013 半导体器件微电机器件第11部分：微电机系统用独立式材料线性热膨胀系数的试验方法
百检网 2021-07-23
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