标准号:IEC62047-14-2012
中文标准名称:半导体器件微电机器件第14部分:金属薄膜材料的成形*限测量方法
英文标准名称:Semiconductordevices?Micro-electromechanicaldevices?Part14:ForminglimitmeasuringmethodofmetallicfilmmaterialsDispositifs?semiconducteurs?Dispositifsmicroélectromécaniques?Partie14:Méthodedemesuredeslimitesdeformagedesmatériau
中国标准分类号:L40
国际标准分类号:31.080.99