标准号：IEC62047-16-2015
中文标准名称：半导体器件微型机电设备第16部分:测定MEMS膜残留应力的试验方法晶片弯曲法和悬臂梁偏位法
英文标准名称：Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part16:TestmethodsfordeterminingresidualstressesofMEMSfilms-Wafercurvatureandcantileverbeamdeflectionmethods(Edition1.0)
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：31.080.99
IEC62047-16-2015 半导体器件微型机电设备第16部分:测定MEMS膜残留应力的试验方法晶片弯曲法和悬臂梁偏位法
百检网 2021-07-23
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