标准号:IEC62047-18-2013
中文标准名称:半导体器件微电机器件第18部分:薄膜材料的弯曲测试方法
英文标准名称:Semiconductordevices?Micro-electromechanicaldevices?Part18:BendtestingmethodsofthinfilmmaterialsDispositifs?semiconducteurs?Dispositifsmicroélectromécaniques?Partie18:Méthodesd’essaideflexiondesmatériauxencoucheminceEdition1
中国标准分类号:L40
国际标准分类号:31.080.99