标准号：IEC62047-2-2006
中文标准名称：半导体器件微电机器件第2部分：薄膜材料的拉伸测试方法
英文标准名称：Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part2:Tensiletestingmethodofthinfilmmaterials(Edition1.0)
中国标准分类号：L40
L04
国际标准分类号：31.080.01
31.080.99
31.220.01
IEC62047-2-2006 半导体器件微电机器件第2部分：薄膜材料的拉伸测试方法
百检网 2021-07-23
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