标准号：IEC62047-21-2014
中文标准名称：半导体器件微电机器件第21部分：微电机系统薄膜材料的泊松比试验方法
英文标准名称：Semiconductordevicesa€?Micro-electromechanicaldevicesa€?Part21:TestmethodforPoisson'sratioofthinfilmMEMSmaterialsDispositifs??semiconducteursa€?Dispositifsmicro??lectrom??caniquesa€?Partie21:M??thoded'essairelativeaucoefficien
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：31.080.99
IEC62047-21-2014 半导体器件微电机器件第21部分：微电机系统薄膜材料的泊松比试验方法
百检网 2021-07-23
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