IEC62047-29-2017 半导体器件微机电装置第29部分:室温下独立导电薄膜的机电松弛试验方法

百检网 2021-07-23

标准号：IEC62047-29-2017
中文标准名称：半导体器件微机电装置第29部分:室温下独立导电薄膜的机电松弛试验方法
英文标准名称：Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part29:Electromechanicalrelaxationtestmethodforfreestandingconductivethin-filmsunderroomtemperature(Edition1.0)
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：31.080.99

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