标准号：ISO13083-2015
中文标准名称：表面化学分析扫描探针显微镜电扫描探针显微镜(ESPMs)如2D掺杂成像和其他用途的扫描扩展电阻显微镜(SSRM)和扫描电容显微镜(SCM)空间分辨率的定义和校准标准
英文标准名称：Surfacechemicalanalysis-Scanning
probemicroscopy-Standardsonthe
definitionandcalibrationofspatial
resolutionofelectricalscanningprobe
microscopes(ESPMs)suchasSSRM
andSCMfor2D-dopantimagingand
otherpurposes
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
ISO13083-2015 表面化学分析扫描探针显微镜电扫描探针显微镜(ESPMs)如2D掺杂成像和其他用途的扫描扩展电阻显微镜(SSRM)和扫描电容显微镜(SCM)空间分辨率的定义和校准标准
百检网 2021-07-23
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