标准号：ISO14644-2-2015
中文标准名称：洁净室及相关受控环境第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据
英文标准名称：Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part2:Monitoringtoprovideevidenceofcleanroomperformancerelatedtoaircleanlinessbyparticleconcentration
中国标准分类号：C70
国际标准分类号：13.040.35
部分代替标准：ISO14644-2-2000
ISO14644-2-2015 洁净室及相关受控环境第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据
百检网 2021-07-23
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