标准号：ISO14706-2000(已作废)
中文标准名称：边面化学分析用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染
英文标准名称：Surfacechemicalanalysis-Determinationofsurfaceelementalcontaminationonsiliconwafersbytotal-reflectionX-rayfluorescence(TXRF)spectroscopy(availableinEnglishonly)
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
ISO14706-2000(已作废) 边面化学分析用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染
百检网 2021-07-23
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