GB/T6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法

百检网 2021-07-23

标准号：GB/T6616-2009
中文标准名称：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法
英文标准名称：Testmethodsformeasuringresistivityofsemiconductorwafersorsheetresistanceofsemiconductorfilmswithanoncontacteddy-currentgauge
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
部分代替标准：GB/T6616-1995
被以下标准代替：SEMIMF673-1105,修改采用

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