标准号:DIN EN ISO 14644-15-2018
中文标准名称:洁净室及相关受控环境 第15部分:用空气中化学药品浓度对设备和材料使用的适宜性进行评估
英文标准名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017); German version EN ISO 14644-15:2017
标准状态:A
标准类型:国际标准
发布日期:2018-03-01
国际标准分类号:13.040.35