标准号:20064394-T-339
中文标准名称:半导体设备电源接口
英文标准名称:Power supply interface for semiconductor equipment
标准状态:已发布
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:工业和信息化部电子工业标准化研究院
国际标准分类号:31.220.10
归口单位:全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门:工业和信息化部(电子)
起草单位:中国人民解放军空军雷达学院
起草人:亓迎川
相近标准:GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口;GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口;20141881-T
标准制修订:修订