标准号:20031796-T-610
中文标准名称:硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文标准名称:Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
标准状态:已发布
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:H17
国际标准分类号:77.040.01
归口单位:中国有色金属工业协会
主管部门:中国有色金属工业协会
起草单位:蛾眉半导体材料厂
相近标准:GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法;20153657-T-469 硅多晶气氛区熔基磷检验方法;GB/T
标准制修订:修订