GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 现行

标准号：GB/T 38614-2020
中文标准名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
英文标准名称：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2020/4/28 12:00:00
实施日期：2020/11/1 12:00:00
中国标准分类号：三英精控（天津）仪器设备有限公司
国际标准分类号：01.040.39
归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：沈阳建筑大学
起草人：戴敬
相近标准：20162485-T-339  基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法;  基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动